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| 年号 |
資本金・事業所 |
技術・製品 |
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| 昭和24年 |
(株)川西機械製作所の苅藻工場を借り受けて
発足
資本金20万円
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梳毛機・電気機器・発声映写機の製造
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| 昭和25年 |
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赤外線乾燥炉・各種コンベア・塗装装置製造開始 |
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| 昭和26年 |
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真空ポンプ機器及び真空装置製造開始
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| 昭和28年 |
資本金を80万円に増資 |
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| 昭和29年 |
資本金を320万円に増資 |
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| 昭和31年 |
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各種精密投影機の製造開始 |
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| 昭和32年 |
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通産省の工業化補助金を受け、大型真空ポンプSMB-20,000型 (排気速度22,000m3/h)メカニカルブースタ国産化に成功
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| 昭和33年 |
資本金960万円に増資 |
半導体関係機器の製造開始
真空脱ガス造塊装置を納入
Ge用還元炉、精製炉、単結晶炉、合金炉を完成 |
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| 昭和34年 |
東京出張所/銀座に新設 |
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| 昭和35年 |
資本金2000万円に増資 |
羊毛用梳毛機(コーマ)生産台数1000台突破
Si用単結晶炉を完成 |
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| 昭和37年 |
資本金5000万円に増資 |
高排気速度を有する高真空蒸着装置の商品化成功
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| 昭和38年 |
東京出張所/東京支店昇格
(中央区日本橋へ移転)
資本金を1億円に増資 |
大型精密投影機SG30型完成 |
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| 昭和40年 |
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電子ビームを用いた超高真空多層膜蒸着装置、イオン衝撃装置、 自動半田浴装置を開発、商品化 |
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| 昭和41年 |
東京工場/東京都大田区に新設 |
多段拡散炉発売
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| 昭和42年 |
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コーマ生産台数2000台を突破
IC焼成炉を完成
真空焼結炉を完成
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| 昭和43年 |
滋賀守山工場/滋賀県守山市に新設
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| 昭和44年 |
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新塗装方式、粉体塗装設備を完成 |
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| 昭和45年 |
滋賀守山工場/2期工事完了 |
電子自動紋紙穿孔装置ACP-900-3S型を林紋工匠との共同開発に より製品化 |
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| 昭和46年 |
資本金を2億円に増資 |
国産投影機として最大のスクリーンを有するHG-40型大型精密 投影機を完成
多目的小型コンベア炉を完成 |
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| 昭和47年 |
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ボウリング用プロジェクター生産台数10,000台突破
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| 昭和48年 |
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水晶振動子用蒸着装置の規格化完了 |
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| 昭和50年 |
営業部/神戸市中央区御幸通(御幸ビル)に移転 |
水晶振動子用真空圧入機を完成
SRP-15000B型油回転真空ポンプを発売 厚膜ICプリント板実装用ハンダリフロー炉の標準化完了 |
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| 昭和51年 |
東京工場/横浜市鶴見区へ移転 |
量産用イオンプレーティングを完成、超硬皮膜、耐食性皮膜形成技術を確立
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| 昭和53年 |
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連続液晶注入装置を完成、省力化に寄与
高速スパッタリング装置(高周波形)を完成 |
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| 昭和54年 |
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導電膜用連続式電子ビーム蒸着装置を完成 |
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| 昭和57年 |
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減圧プラズマCVD装置完成
近赤外線焼成炉の完成 SGD-600、1000型直結型油回転ポンプおよびSMB-300型メカニカルブースタポンプを完成 |
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| 昭和58年 |
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赤外線加熱方式減圧CVD装置を完成 |
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| 昭和59年 |
本社・神戸工場/西神工業団地へ移転 |
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| 昭和60年 |
神戸工場/2期工事完了 |
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| 昭和61年 |
神戸営業所/神戸市中央区西町 (三井日生神戸ビル)へ移転 |
SGD-1300型直結型油回転ポンプを完成 |
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| 昭和62年 |
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Cuペースト用両面焼成炉規格化完了
ACV-660型プラズマCVD装置を完成 |
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| 平成1年 |
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c-BN膜用薄膜形成装置を完成
SR-75BII低騒音型油回転真空ポンプを完成
多目的イオンプレーティング装置が協和技術振興センターの 第1回中小企業優秀新技術・新製品賞を受賞 ECRプラズマCVD装置を開発 SGD-400・SGD-900型直結型油回転ポンプを完成 |
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| 平成2年 |
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パルスプラズマCVD装置完成 |
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| 平成3年 |
資本金を3億円に増資 |
マルチスパッタ装置(PRODUCE)開発
H20ガス供給ユニット発売 VS302型正立像精密投影機完成 |
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| 平成4年 |
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2ステップアッシング装置発売 |
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| 平成5年 |
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VT302型正立像精密投影機完成
SR-25BII、37BII型低騒音形油回転真空ポンプ完成 |
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| 平成6年 |
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DLC用プラズマCVD装置完成 |
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| 平成7年 |
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マルチ雰囲気ハンダ付装置開発 |
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| 平成8年 |
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PDP用封着排気装置完成
量産用新型アッシング装置開発 |
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| 平成11年 |
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滋賀守山工場ISO9001認証取得
真空H2半田付け装置発売 EXAM型プラズマクリーニング装置発売 ベアリング検査用投影機ST発売 |
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| 平成12年 |
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H2プラズマリフロー装置発売
本社・神戸工場・神戸営業所・東京支店ISO9001認証取得 大口径対応SWPアッシング装置発売 PDP用連続封着排気装置納入 |
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| 平成13年 |
東京支店/日本橋室町(楠和日本橋ビル)へ移転 |
EXAM型プラズマエッチング装置完成
大型外熱式プラズマCVD装置(リアクタ内径550×高さ2200)完成
SMB-C06・C15・C25コンパクト型メカニカルブースタ、シリーズ化完成 |
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| 平成14年 |
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本社・神戸工場・神戸営業所・東京支店
ISO9001:2000認証取得
プラズマ重合装置発売
量産型工具用c−BN膜形成装置完成
インライン式プラズマ重合装置の開発 |
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| 平成15年 |
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滋賀守山工場ISO9001:2000認証取得
FED用封着排気装置開発
量産用DLC装置納入
高真空エッチング装置完成
MEMS対応Deep ICP装置開発
医療機械機器及びその付属品の製造開始
ハステロイ製耐食型水封式真空ポンプ納入
画像機能付ポーラリメーターSF−UC納入
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| 平成16年 |
事業部制発足(装置事業部.規格品事業部)
神戸営業所/神戸支店昇格
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連続タイプ真空・H2半田付装置を完成
成膜装置用データロギングシステム完成
真空半田付装置 納入70台達成
深焦点投影機開発機完成
ドライポンプSSHシリーズ完成
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| 平成17年 |
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本社・神戸工場ISO14001:1996認証取得
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| 平成18年 |
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本社・神戸工場ISO14001:2004認証取得
滋賀守山工場ISO14001:2004認証取得
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| 平成19年 |
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第1回「ひょうごものづくり技術大賞」において
「フラックスレス及びボイドレス接合を実現した鉛フリーはんだ対応
真空半田付装置」が製品・技術開発分野の兵庫工業会会長賞を受賞
第2回「ものづくり日本大賞」においても製品・技術開発分野で 「優秀賞」を受賞
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