年号 資本金・事業所 技術・製品
昭和24年   (株)川西機械製作所の苅藻工場を借り受けて
発足
資本金20万円

梳毛機・電気機器・発声映写機の製造
昭和25年     赤外線乾燥炉・各種コンベア・塗装装置製造開始
昭和26年     真空ポンプ機器及び真空装置製造開始
昭和28年   資本金を80万円に増資
昭和29年   資本金を320万円に増資  
昭和31年   各種精密投影機の製造開始
昭和32年     通産省の工業化補助金を受け、大型真空ポンプSMB-20,000型
(排気速度22,000m3/h)メカニカルブースタ国産化に成功
昭和33年   資本金960万円に増資 半導体関係機器の製造開始
真空脱ガス造塊装置を納入
Ge用還元炉、精製炉、単結晶炉、合金炉を完成
昭和34年   東京出張所/銀座に新設  
昭和35年   資本金2000万円に増資 羊毛用梳毛機(コーマ)生産台数1000台突破
Si用単結晶炉を完成
昭和37年   資本金5000万円に増資 高排気速度を有する高真空蒸着装置の商品化成功
昭和38年   東京出張所/東京支店昇格
(中央区日本橋へ移転)
資本金を1億円に増資
大型精密投影機SG30型完成
昭和40年     電子ビームを用いた超高真空多層膜蒸着装置、イオン衝撃装置、
自動半田浴装置を開発、商品化
昭和41年   東京工場/東京都大田区に新設 多段拡散炉発売
昭和42年     コーマ生産台数2000台を突破
IC焼成炉を完成

真空焼結炉を完成
昭和43年   滋賀守山工場/滋賀県守山市に新設
 
昭和44年     新塗装方式、粉体塗装設備を完成
昭和45年   滋賀守山工場/2期工事完了 電子自動紋紙穿孔装置ACP-900-3S型を林紋工匠との共同開発に
より製品化
昭和46年   資本金を2億円に増資 国産投影機として最大のスクリーンを有するHG-40型大型精密
投影機を完成
多目的小型コンベア炉を完成
昭和47年     ボウリング用プロジェクター生産台数10,000台突破
昭和48年     水晶振動子用蒸着装置の規格化完了
昭和50年   営業部/神戸市中央区御幸通(御幸ビル)に移転 水晶振動子用真空圧入機を完成
SRP-15000B型油回転真空ポンプを発売
厚膜ICプリント板実装用ハンダリフロー炉の標準化完了
昭和51年   東京工場/横浜市鶴見区へ移転 量産用イオンプレーティングを完成、超硬皮膜、耐食性皮膜形成技術を確立
昭和53年     連続液晶注入装置を完成、省力化に寄与
高速スパッタリング装置(高周波形)を完成
昭和54年     導電膜用連続式電子ビーム蒸着装置を完成
昭和57年     減圧プラズマCVD装置完成
近赤外線焼成炉の完成
SGD-600、1000型直結型油回転ポンプおよびSMB-300型メカニカルブースタポンプを完成
昭和58年     赤外線加熱方式減圧CVD装置を完成
昭和59年   本社・神戸工場/西神工業団地へ移転  
昭和60年   神戸工場/2期工事完了  
昭和61年   神戸営業所/神戸市中央区西町
(三井日生神戸ビル)へ移転
SGD-1300型直結型油回転ポンプを完成
昭和62年     Cuペースト用両面焼成炉規格化完了
ACV-660型プラズマCVD装置を完成
平成1年     c-BN膜用薄膜形成装置を完成
SR-75BII低騒音型油回転真空ポンプを完成
多目的イオンプレーティング装置が協和技術振興センターの
第1回中小企業優秀新技術・新製品賞を受賞
ECRプラズマCVD装置を開発
SGD-400・SGD-900型直結型油回転ポンプを完成
平成2年     パルスプラズマCVD装置完成
平成3年   資本金を3億円に増資 マルチスパッタ装置(PRODUCE)開発
H20ガス供給ユニット発売
VS302型正立像精密投影機完成
平成4年   2ステップアッシング装置発売
平成5年     VT302型正立像精密投影機完成
SR-25BII、37BII型低騒音形油回転真空ポンプ完成
平成6年     DLC用プラズマCVD装置完成
平成7年     マルチ雰囲気ハンダ付装置開発
平成8年     PDP用封着排気装置完成
量産用新型アッシング装置開発
平成11年     滋賀守山工場ISO9001認証取得
真空H2半田付け装置発売
EXAM型プラズマクリーニング装置発売
ベアリング検査用投影機ST発売
平成12年     H2プラズマリフロー装置発売
本社・神戸工場・神戸営業所・東京支店ISO9001認証取得
大口径対応SWPアッシング装置発売
PDP用連続封着排気装置納入
平成13年   東京支店/日本橋室町(楠和日本橋ビル)へ移転 EXAM型プラズマエッチング装置完成
大型外熱式プラズマCVD装置(リアクタ内径550×高さ2200)完成
SMB-C06・C15・C25コンパクト型メカニカルブースタ、シリーズ化完成
平成14年     本社・神戸工場・神戸営業所・東京支店
ISO9001:2000認証取得
プラズマ重合装置発売
量産型工具用c−BN膜形成装置完成
インライン式プラズマ重合装置の開発
平成15年     滋賀守山工場ISO9001:2000認証取得
FED用封着排気装置開発
量産用DLC装置納入
高真空エッチング装置完成
MEMS対応Deep ICP装置開発
医療機械機器及びその付属品の製造開始
ハステロイ製耐食型水封式真空ポンプ納入
画像機能付ポーラリメーターSF−UC納入
平成16年   事業部制発足(装置事業部.規格品事業部)
神戸営業所/神戸支店昇格
連続タイプ真空・H2半田付装置を完成
成膜装置用データロギングシステム完成
真空半田付装置 納入70台達成
深焦点投影機開発機完成
ドライポンプSSHシリーズ完成
平成17年   本社・神戸工場ISO14001:1996認証取得
平成18年   本社・神戸工場ISO14001:2004認証取得
滋賀守山工場ISO14001:2004認証取得
平成19年   第1回「ひょうごものづくり技術大賞」において
「フラックスレス及びボイドレス接合を実現した鉛フリーはんだ対応
真空半田付装置」が製品・技術開発分野の兵庫工業会会長賞を受賞
第2回「ものづくり日本大賞」においても製品・技術開発分野で
「優秀賞」
を受賞


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