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会社案内

会社沿革

創業-1969

資本金・事業所   技術・製品
(株)川西機械製作所の苅藻工場を借り受けて発足
資本金20万円
1949 梳毛機・電気機器・発声映写機の製造
  1950 赤外線乾燥炉・各種コンベア・塗装装置製造開始
  1951 真空ポンプ機器及び真空装置製造開始
資本金を80万円に増資 1953
資本金を320万円に増資 1954  
  1956 各種精密投影機の製造開始
  1957 通産省の工業化補助金を受け、大型真空ポンプSMB-20,000型(排気速度22,000m3/h)メカニカルブースタ国産化に成功
資本金960万円に増資 1958 半導体関係機器の製造開始、真空脱ガス造塊装置を納入、
Ge用還元炉、精製炉、単結晶炉、合金炉を完成
東京出張所/銀座に新設 1959  
資本金2,000万円に増資 1960 羊毛用梳毛機(コーマ)生産台数1000台突破
Si用単結晶炉を完成
資本金5,000万円に増資 1962 高排気速度を有する高真空蒸着装置の商品化成功
東京出張所/東京支店昇格(中央区日本橋へ移転)
資本金を1億円に増資
1963 大型精密投影機SG30型完成
  1965 電子ビームを用いた超高真空多層膜蒸着装置、イオン衝撃装置、自動半田浴装置を開発、商品化
東京工場/東京都大田区に新設 1966 多段拡散炉発売
  1967 コーマ生産台数2000台を突破、IC焼成炉を完成、真空焼結炉を完成
滋賀守山工場/滋賀県守山市に新設 1968  
  1969 新塗装方式、粉体塗装設備を完成

1970-1990

資本金・事業所   技術・製品
滋賀守山工場/2期工事完了 1970 電子自動紋紙穿孔装置ACP-900-3S型を林紋工匠との共同開発により製品化
資本金を2億円に増資 1971 国産投影機として最大のスクリーンを有するHG-40型大型精密投影機を完成
多目的小型コンベア炉を完成
  1972 ボウリング用プロジェクター生産台数10,000台突破
  1973 水晶振動子用蒸着装置の規格化完了
営業部/神戸市中央区御幸通(御幸ビル)に移転 1975 水晶振動子用真空圧入機を完成
SRP-15000B型油回転真空ポンプを発売
厚膜ICプリント板実装用ハンダリフロー炉の標準化完了
東京工場/横浜市鶴見区へ移転 1976 量産用イオンプレーティングを完成、超硬皮膜、耐食性皮膜形成技術を確立
  1978 連続液晶注入装置を完成、省力化に寄与
高速スパッタリング装置(高周波形)を完成
  1979 導電膜用連続式電子ビーム蒸着装置を完成
  1982 減圧プラズマCVD装置完成
近赤外線焼成炉の完成
SGD-600、1000型直結型油回転ポンプおよびSMB-300型メカニカルブースタポンプを完成
  1983 赤外線加熱方式減圧CVD装置を完成
本社・神戸工場/西神工業団地へ移転 1984  
神戸工場/2期工事完了 1985  
神戸営業所/神戸市中央区西町
(三井日生神戸ビル)へ移転
1986 SGD-1300型直結型油回転ポンプを完成
  1987 Cuペースト用両面焼成炉規格化完了
ACV-660型プラズマCVD装置を完成
  1989  c-BN膜用薄膜形成装置を完成
SR-75BII低騒音型油回転真空ポンプを完成
多目的イオンプレーティング装置が協和技術振興センターの
第1回中小企業優秀新技術・新製品賞を受賞
ECRプラズマCVD装置を開発
SGD-400・SGD-900型直結型油回転ポンプを完成
  1990 パルスプラズマCVD装置完成

1991-

資本金・事業所   技術・製品
資本金を3億円に増資 1991 マルチスパッタ装置(PRODUCE)開発
H2Oガス供給ユニット発売
VS302型正立像精密投影機完成
  1992 2ステップアッシング装置発売
  1993 VT302型正立像精密投影機完成
SR-25BII、37BII型低騒音形油回転真空ポンプ完成
  1994 DLC用プラズマCVD装置完成
  1995 マルチ雰囲気ハンダ付装置開発
  1996 PDP用封着排気装置完成
量産用新型アッシング装置開発
1999 滋賀守山工場ISO9001認証取得
真空H2半田付け装置発売
EXAM型プラズマクリーニング装置発売
ベアリング検査用投影機ST発売
  2000 H2プラズマリフロー装置発売
本社・神戸工場・神戸営業所・東京支店ISO9001認証取得
大口径対応SWPアッシング装置発売
PDP用連続封着排気装置納入
東京支店/日本橋室町(楠和日本橋ビル)へ移転 2001 EXAM型プラズマエッチング装置完成
大型外熱式プラズマCVD装置(リアクタ内径550×高さ2200)完成
SMB-C06・C15・C25コンパクト型メカニカルブースタ、シリーズ化完成
  2002 本社・神戸工場・神戸営業所・東京支店
ISO9001:2000認証取得
プラズマ重合装置発売
量産型工具用c-BN膜形成装置完成
インライン式プラズマ重合装置の開発
  2003 滋賀守山工場ISO9001:2000認証取得
FED用封着排気装置開発
量産用DLC装置納入
高真空エッチング装置完成
MEMS対応Deep ICP装置開発
ハステロイ製耐食型水封式真空ポンプ納入
画像機能付ポーラリメーターSF-ⅡC納入
事業部制発足(装置事業部.規格品事業部)
神戸営業所/神戸支店昇格
2004 連続タイプ真空・H2半田付装置を完成
成膜装置用データロギングシステム完成
真空半田付装置 納入70台達成
深焦点投影機開発機完成
ドライポンプSSHシリーズ完成
  2005 本社・神戸工場ISO14001:1996認証取得
  2006 本社・神戸工場ISO14001:2004認証取得
滋賀守山工場ISO14001:2004認証取得
  2007 第1回「ひょうごものづくり技術大賞」において
「フラックスレス及びボイドレス接合を実現した鉛フリーはんだ対応
真空半田付装置」が製品・技術開発分野の兵庫工業会会長賞を受賞
第2回「ものづくり日本大賞」においても製品・技術開発分野で「優秀賞」を受賞
  2008 ウィルス検査装置を開発
ポーラリメータSF-ⅡLを発売
  2009 ダイヤモンドライクカーボン膜コーティング装置(PIG式DLC膜形成装置)がりそな中小企業振興財団・日刊工業新聞社共催の第21回
「中小企業優秀新技術・新製品賞」の優秀賞を受賞
ICPエッチング装置(SERIO)を完成
  2010 太陽電池用透明導電膜量産装置納入
東京工場を横浜市港北区へ移転
名称を東京サービスセンターへと変更
2011 大型ドライ真空ポンプSST450を完成
ポーラリメータ用画像処理ユニットを完成
日立造船株式会社と資本・業務提携契約締結
資本金を3億7,500万円に増資
2012  
  2013 SSX300型ドライポンプを発売
  2014 超高真空マルチスパッタリング装置を発売
マルチICPエッチング装置を発売
  2017 油回転真空ポンプSGHシリーズを発売
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