メカニカルブースターポンプ

構造

平行した2本の軸に2個のバランスの取れたまゆ形ロータが固定され、電動機により駆動されます。ロータが回転することにより、吸入口から入った気体はケーシングとロータの空間に閉じ込められ、排気口より連続的に排出されていき、効率よく真空を作り出します。

SMBシリーズ

SMBシリーズ仕様
型式 排気速度(m3/h) 到達圧力 電動機 後段ポンプ
  60Hz 50Hz Pa Kw  
SMB-200 190 160 0.2 1.5 SR-500
150 130 4.3×102 1.5 SW-100II
SMB-600 600 500 0.13 2.2 SR-1500B
500 420 3.3×102 3.7 SW-300
SMB-1500 1500 1250 0.13 3.7 SR-37BII
1250 1050 2.9×102 5.5 SW-600III
SMB-2500 2800 2300 0.13 7.5 SR-75BII
2200 1800 13 7.5 SMB-600〜SW-300
SMB-5000 4800 0.13 15 SRP-15000
4400 11 11 SMB-1500〜SW600
SMB-10000 10500 0.07 22 SMB-2500〜SR-15000B
SMB-20000 22000 0.07 37 SMB-5000〜SRP-15000B×2


直結形ブースタポンプ
SMB-D(DM)シリーズ

SMB-D(DM)シリーズ仕様
型式 排気速度 m3/h 到達圧力 Pa 電動機 Kw 後段ポンプ
SMB-100D
(DM)
90(75) 10-2 0.75 SVC-300
80(70) 4×102 SW-50
SMB-300D
(DM)
255(215) 10-2 1.5 SR-800
240(200) 4×102 SW-150
SMB-600
(DM)
510(430) 10-2 2.2 SR-1500B
480(400) 10-2 SW-300
SMB-1000D 995(820) 10-2 3.7 SR-37BII


新型SMB-C06

SMB-C06仕様
排気速度m3/h 到達圧力 電動機 後段ポンプ 冷却水量 重量
60Hz 50Hz Pa Kw L/min Kg
600 500 0.13 2.2 SR-1500B 3 160
600 500 330 3.7 SW-300


後段ポンプの選定にあたって

メカニカルブースターポンプは、大気圧まで圧縮・排気ができるポンプではありません。そして性能も後段ポンプの機種・性能によって変化します。従って、メカニカルブースタポンプを用いた排気系の構成に際しては、所要の目的に最も適した後段ポンプを選定する必要があります。

標準排気系
型式 後段ポンプ 到達圧力(水封式ポンプ・水温20℃)Pa
SMB-200 SR-500 0.2
SW-100II 4.3×102
SMB-600 SR-1500B 0.13
SW-300 3.3×102
SMB-200〜SW-100II 23
SMB-200〜SAE-100II〜SW-100II 1.9
SMB-1500 SR-37BII 0.13
SW-600 2.9×102
SMB-600〜SW-300 13
SMB-600〜SAE-300〜SW-300 1.9
SMB-2500 SR-75BII 0.13
SMB-600〜SW-300 13
SMB-600〜SAE-300〜SW-300 1.9
SMB-5000 SRP-15000B 0.13
SMB-1500〜SW-600 11
SMB-1500〜SAE-600〜SW-600 1.6
SMB-10000 SMB-2500〜SRP-15000B 0.07
SMB-20000 SMB-5000〜SRP-15000B×2 0.07

[水封式真空ポンプ] [油回転真空ポンプ]

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