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新着情報

新製品販売開始のお知らせ(アーク放電型マグネトロンスパッタリング装置)

お知らせ

新製品 アーク放電型マグネトロンスパッタリング装置


独自開発による新型スパッタリング装置の販売を開始いたします。
本装置は新型カソードを採用しておりシンプルな構造で高密度スパッタリング
(アーク放電によるマグネトロンスパッタリング)を実現できます。
アーク放電型マグネトロンスパッタリングは、従来のマグネトロンスパッタリングに比べ

 ① 低電圧・低圧での成膜が可能
 ② 膜の反応性・緻密性が高い
 ③ 微小孔への付周りが優れている。

などを特徴としています。
アーク放電型マグネトロンスパッタリング技術は、電子デバイス製造プロセスにも
金属表面処理(硬質膜)にも適応可能で新たな分野への応用が期待できます。

応用例
 ① 電子デバイス製造プロセス
      コンタクトホールへの成膜
 ② 硬質膜分野
硬質の導電性カーボン膜 平滑かつ緻密な窒化膜・酸窒化膜の形成

アーク放電型マグネトロンスパッタの膜は緻密化しており柱状構造が見られない。

 

硬質膜用途についてサンプルデモ対応を行なっています。

電子デバイス分野へのご評価依頼については用途・膜種等ご相談下さい。

お問合せ先

 東京支店 03-3271-2156

 神戸支店 078-332-3400

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