硬質膜用アーク放電型マグントロンスパッタリング装置を新製品として発表いたします。
同装置は金型や自動車部品・切削工具等の機械部品のコーティングを主な目的としています。
独自開発のアーク放電型マグネトロンカソードによる平滑で緻密な膜質が大きな特長です。
従来のアーク放電型高真空イオンプレーティング装置で対応できない合金膜・多層膜による硬質窒化膜・炭窒化膜に対応しています。
バッチ式装置を標準としており小型部品の大量処理や大型金型の処理のどちらにも対応可能です。
量産対応のデモ機装置を常設しており、サンプル成膜・デモに積極的に対応しています。
詳しくは製品欄をご参照下さい。

硬質膜用アーク放電型マグネトロンスパッタリング装置