| 製品画像 |
製品名・特徴 |
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■真空リフロー装置 |
ノーフラックス・ボイドフリーを実現。
バッチタイプ/インラインタイプ |
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■プラズマリフロー装置 |
還元力の強い水素ラジカルを照射する事により、はんだの酸化物を除去し、清浄な バンプ形成が可能。 |
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■雰囲気コンベア炉 |
| H2雰囲気コンベア炉/N2雰囲気コンベア炉/リフロー炉 |
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■厚膜IC製造装置 |
| N2/Air兼用焼却炉/乾燥炉・ガラスコート炉/バッチタイプ焼成炉 |
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■特殊組立装置 |
枚葉タイプクリーン熱処理装置/超クリーン熱処理装置
急速加熱・急速冷却真空熱処理装置/棚段型式高真空熱処理装置
高真空・高温熱処理装置/大型ガラス基板乾燥装置
液晶バックライト製造装置
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