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| ■厚膜IC製造装置 | |||
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| N2/Air兼用焼却炉 | |
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高精度な温度コントロール及び雰囲気コントロールにより、CuやAg-Pd等各種厚膜ペーストの完全な焼成を実現。
両面焼成や自動化に対応します。
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| 乾燥炉・ガラスコート炉 | |
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高精度な赤外線加熱や新鮮エアーの供給により、安定した厚膜ペーストの乾燥・ガラスコート焼成を実現します。
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| バッチタイプ焼成炉 | |
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多層セラミック基板の焼成に必要な、多段階・高精度な 温度コントロールと多元雰囲気を実現する装置です。 |
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