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| ■特殊組立装置 |
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| 枚葉タイプクリーン熱処理装置 |
真空・Ｎ2・Ｈ2各種雰囲気中で、クリーンな熱処理を可能にした装置です。
また、カセットtoカセットの自動枚葉処理対応装置となっており、成膜後ウェハのアニーリング処理や合金化処理等に最適です。
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| 超クリーン熱処理装置 |
MCM基板製造やICパッケージング工程に不可欠なポリイミド絶縁膜形成において、低酸素・超クリーン雰囲気な熱処理が必須です。
密閉チャンバー内に高度にクリーン化したＮ2ガスを常に供給する事により、Ｏ2濃度5ppm以下・クリーン度クラス10以下を実現したマルチチャンバータイプの装置です。
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| 急速加熱・急速冷却真空熱処理装置 |
石英炉芯管と可動型ヒーター及び冷却ファンの組み合わせにより、急速加熱・急速冷却を可能にした装置です。
また、真空雰囲気での熱処理も可能となっており、はんだ付けやアニール処理を効率良く出来る装置になっています。
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| 棚段型式高真空熱処理装置 |
真空チャンバー内に多段の熱板を配置し、高真空雰囲気中で効率よくかつ高精度に熱処理を行うための装置です。
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| 高真空・高温熱処理装置 |
真空チャンバー内にモリブデン又はタグステンのヒーターを配置し、高真空雰囲気中かつ高温の熱処理を可能にした
装置です。
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| 大型ガラス基板乾燥装置 |
PDPや液晶製造の大型ガラス基板上に塗布されたペーストを、クリーンな
熱風を循環させ乾燥させる装置です。
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| 液晶バックライト製造装置 |
液晶の長尺CCFL管の真空排気・蛍光ガス封入を行うための装置です。
ガラス管を高真空に排気とArガス等を封入した後、チップオフするまでを、自動で処理します。
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