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| ■プラズマ表面処理装置 | |||
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| プラズマ表面処理装置POEM | ||||||||
| 平行平板型ＲＩＥ方式のプラズマを利用した、基板表面のクリーニング・還元・酸化等の処理を可能としたプラズマ表面処理装置です。 処理目的に応じて、処理モードや処理ガスを種々変える事により、幅広い用途に対応しています。 基板サイズに合わせ４５０×４５０ｍｍの大型基板対応装置と、２５０×２５０ｍｍの小型基板対応装置の２機種を用意 しています。 |
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| ■処理モードの選択 処理効率の良いハードモードと、基板へのダメージを配慮したソフトモードを選択できます。 ■表面処理のメカニズム
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| プラズマ重合装置 | ||||
| 真空チャンバーに導入したモノマーガスを高周波によりプラズマ化し、基板表面にポリマー膜を形成する装置です。 生体と接触する被膜の形成などに応用されます。 |
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