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| 製品の画像をクリックすると、詳細一覧に切り替わります。 | |
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| 製品画像 | 製品名・特徴 |
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■蒸着装置 |
| AAMFシリーズ：前扉バッチタイプ AAHシリーズ：横型バッチタイプ |
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■スパッタリング装置 |
| 小型スパッタリング装置：SRV3300型・SRV4320型・SRV6320型・SRL3320型 サイドスパッタリング装置：STH10311型 ロードロック式スパッタリング装置 マルチチャンバースパッタリング装置 超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 |
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■エッチング・アッシング装置 |
| プラズマエッチング装置EXAM ダウンフロー＆２ステップアッシング装置：DREAM＆CHAMP SWP高密度プラズマ装置 |
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■表面改質装置 |
| ＤＬＣ 薄膜形成装置：AAPIGｰ16110D型・APIGｰ1060D型 イオンプレーティング装置：AIH-16110型・AIF-850SBT型 |
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■プラズマCVD装置 |
| 実験用パルスプラズマCVD装置 インターバック式プラズマCVD装置 |
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■プラズマ表面処理装置 |
| プラズマ表面処理装置：POEM プラズマ重合装置：前扉プラズマ重合装置・昇降ベルジャープラズマ重合装置 |
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■プラズマディスプレイパネル製造装置 |
| カート式インライン封着排気装置 バッチ式封着排気装置 |
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■排気装置・熱処理装置 |
| ガラスセル排気装置 ホットプレス装置 |