真空ポンプ・コンポーネント
■油回転真空ポンプ
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【構造】
油回転ポンプは、大気圧から0.13〜1.3×10-2Paまでの気体を圧縮して、大気中に排出する経済的なポンプとして広く
使用されています。SR、SRP型(揺動ピストン形)は、シリンダ・ロータ・ピストン・スライドピン・排気弁、また、SVC、
SGR、SGD型(回転翼形)は、ロータ・ベーン・排気弁から構成されています。


油回転式構造

【作動原理】
軸に固定されたロータが、回転する事により、ポンプのシリンダ内部に空間が生じます。その結果、吸気口よりシリンダ内部の空間に、気体が入ります。そしてロータが回転する事により、シリンダとピストン、シリンダとベーンとの空間にある気体は、圧縮される空間に移り、排気弁を通して、油タンク内部へと排出されます。

【特徴】
・耐久力が大きく、寿命が長い。
・排気特性が優れ操作が簡単。
・水蒸気の処理ができる。
 ガスバラスト弁を取付ける事により、凝縮性蒸気が凝縮して油と混濁してポンプ性能が低下する事を防止し、
 凝縮性蒸気を排気処理する事が出来ます。


SR・SRPシリーズ(揺動ピストン形) SGDシリーズ(回転翼形)
SR-25BU
SGD-400型
SR-25BII型 SGD-400型

SR・SRPシリーズ(揺動ピストン形)
 

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SVC・SGRシリーズ(回転翼形)
 

直結形油回転ポンプ SGDシリーズ
【特徴】
・クリーンルームに対応する清浄度とコンパクトさを実現した直結形油回転ポンプです。
・精密加工により、機械摩擦を低減し、共振しやすい構造・形状は最低限度に押さえています。

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真空ポンプ・コンポーネント
■油回転真空ポンプオプション

オイルミストトラップ
油回転ポンプの排気口にオイルミストトラップを使用することにより、ポンプの使用直後や低真空運転中にでる油滴・オイルミストを除去することが出来、快適な作業環境が得られます。また、運転中の騒音も軽減されます。 オイルミストトラップ
■外形図

外形図
■性能

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