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| ■油拡散ポンプ | |||
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| SD・SD-Hシリーズ | |
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【特徴】 ・排気速度が大きい ・油蒸気の逆流が少ない ・ヒーターの寿命が長い（アルミ鋳込みヒーターを採用） ・高い許容背圧が得られる（サイドエゼクター型） 【共通仕様】 ・作動油はネオバックSX（SHｰ704）或いはライオンAです ・作動油がDC-705の場合、到達圧力4×10-6Pa,電力は20パーセント〜 45パーセントアップとなります ・油蒸気の逆流量は、7×10-7〜2×10-8g/min・cm2以下です |
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| サイドエゼクタ形 |
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