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| ■バルブ（真空弁） | |||
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| ●高真空バルブ ディスク開放時のコンダクタンスを大きくとり､リーク量が少ない，ポンプの排気速度を損ないにくい設計と なっています｡ ・本体材質はSS400+ニッケルメッキ､SUS304等があります｡ ・シール材質はニトリルゴム､フッ素ゴム等があります｡ ・フランジは真空フランジVGガスケット溝付（JIS B2290）を採用しています｡ ・リーク量（非作動時 Heリークディテクタにて検査）は1.3×10-9Pa・m3/sec以下です。 |
| SV-Sシリーズ |
| 手動式高真空バルブ S字型で配管を曲げずに使用できます｡ |
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| SV-Lシリーズ |
| 手動式高真空バルブ L字型で真空バルブの基本形です｡ |
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| SNV-Sシリーズ |
| 空気圧式高真空バルブ S字型で配管を曲げずに使用できます｡ ソレノイドバルブの電圧は任意に選べます｡ オプションとして開閉指示用スイッチがあります｡ 耐圧防爆仕様も製作可能です｡ |
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| SNV-Lシリーズ |
| 空気圧式高真空バルブ L字型で真空バルブの基本形です｡ ソレノイドバルブの電圧は任意に選べます｡ オプションとして開閉指示用スイッチがあります｡ 耐圧防爆仕様も製作可能です｡ |
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