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| あらゆる分野で活躍するSHINKO SEIKIの真空ポンプです。 | |||
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| ドライ真空ポンプ（スクリュー式） | |
| 革新的なスクリューローターテクノロジーを持った低速スクリュードライポンプ。 エコロジー&エコノミー、高排気効率で省電力を実現。 ポンプコントローラを標準搭載、ポンプ保護機能に加え、外部制御が可能。 全圧力域で連続運転が可能。 |
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【主な用途】 一般産業から電子産業まで様々な用途でご使用いただけます。 ・CVD ・スパッタリング ・ロードロック ・イオンプレーティング ・単結晶引上げ炉 ・医療用薄膜 ・薄膜 ・真空蒸着 ・真空熱処理 ・真空焼結 ・真空含侵 ・真空溶解 ・真空乾燥 ・凍結乾燥 ・濃縮工程 ・真空脱泡 ・真空包装 ・真空冷却 ・吸着搬送 ・環境試験装置 ・溶剤回収 ・真空断熱 ・ガス置換 ・ベントガス排気 ・FPD封着排気 ・各種試験装置 ・各種ポンプの補助・後段排気ポンプとして |
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| 水封式真空ポンプ | |
| どこよりも完成度の高い水封式真空ポンプ。 発売以来、絶大なる支持を受けこれからの環境問題も考えます。 |
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【主な用途】 ・化学プラントなどの蒸留・濃縮・溶剤などの回収 ・押出機などのベントガス排気 ・食品などの真空冷却 ・医療関係の滅菌 ・電子部品の吸着 ・超純水装置 |
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| 油回転式真空ポンプ | |
| 高真空・耐久性を考えた油回転式ポンプ。 この地球上で、宇宙を想像させる空間を作ります。 |
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【主な用途】 ・真空溶解・真空焼結 ・真空含侵・真空脱泡 ・トランスの浄油・乾燥 ・食品包装・凍結乾燥 ・真空断熱・ガス置換 |
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| メカニカルブースタポンプ | |
| 水封・油回転をサポートするメカニカルブースタポンプ。 すべてのポンプを高真空で活躍させたいお客様へ……。 |
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【主な用途】 ・原子力関連 ・半導体関連 ・真空熱処理関係 ・あらゆるポンプの排気時間の短縮 ・各真空ポンプとの組み合わせによる133Pa以下での連続運転 |
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