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製品情報

バルブ(真空弁)

【高真空バルブ】

ディスク開放時のコンダクタンスを大きくとり、リーク量が少ない,ポンプの排気速度を損ないにくい設計となっています。

・本体材質はSS400+ニッケルメッキ、SUS304等があります。
・シール材質はニトリルゴム、フッ素ゴム等があります。
・フランジは真空フランジVGガスケット溝付(JIS B2290)を採用しています。
・リーク量(非作動時 Heリークディテクタにて検査)は1.3×10-9Pa・m3/sec以下です。

 

SV-Sシリーズ

手動式高真空バルブ
S字型で配管を曲げずに使用できます。

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SV-Lシリーズ

手動式高真空バルブ
L字型で真空バルブの基本形です。

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SNV-Sシリーズ

空気圧式高真空バルブ
S字型で配管を曲げずに使用できます。
ソレノイドバルブの電圧は任意に選べます。
オプションとして開閉指示用スイッチがあります。
耐圧防爆仕様も製作可能です。

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SNV-Lシリーズ

空気圧式高真空バルブ
L字型で真空バルブの基本形です。
ソレノイドバルブの電圧は任意に選べます。
オプションとして開閉指示用スイッチがあります。
耐圧防爆仕様も製作可能です。

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