バルブ（真空弁）

【高真空バルブ】

ディスク開放時のコンダクタンスを大きくとり､リーク量が少ない，ポンプの排気速度を損ないにくい設計となっています｡

・本体材質はSS400+ニッケルメッキ､SUS304等があります｡
・シール材質はニトリルゴム､フッ素ゴム等があります｡
・フランジは真空フランジVGガスケット溝付（JIS　B2290）を採用しています｡
・リーク量（非作動時 Heリークディテクタにて検査）は1.3×10-9Pa・m3/sec以下です。