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製品情報

高真空熱処理炉

高真空中で1500℃以上の高温処理が可能な新素材・冶金用途対応の熱処理装置です。
自社製のポンプで構成された実績豊富な排気系の元、均熱精度の高い高温加熱が可能です。
用途は高融点金属部品の熱処理、カーボン粉体の熱処理、セラミックス・新素材の焼成・
アニールなどで、求められる温度・雰囲気・炉内清浄度にあわせ、炉構造、ヒーター、
ガス導入機構が選択できます。

主仕様(標準仕様)
・処理物    金属 セラミックス 粉末 各種素材
・処理温度   500~1500℃ 最高1800℃
・処理寸法   300mm□/バッチ
・処理雰囲気  真空(高真空)
・排気系    油回転ポンプ+メカニカルブースタ+油拡散ポンプ
選択機構
・ヒーター   メタルヒーター カーボンヒーター
・冷却機構   ガス冷却
・排気系    ドライポンプ ターボ分子ポンプ
・ガス導入機  N2 Ar等 オプションにてH2

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