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製品情報

プラズマリフロー装置

ウェハ上のはんだバンプ形成プロセスにおいて、水素プラズマ中で発生した水素ラジカルをウェハ表面に導くことによりフラックスレスではんだ層の酸化膜を除去します。
フラックス洗浄工程を削除。はんだバンプを減圧中で溶融させるため、真空脱泡効果によりボイドレスを実現しました。

プラズマリフロー装置 プラズマリフロー装置

【特徴】
・ウェハバンプのリフロー工程を完全ドライ化
・フラックスレス、ボイドレスを同時に実現
・神港精機の提案する新リフロープロセス

プラズマリフロー技術

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