プラズマクリーニング装置POEM
平行平板型RIE方式のプラズマを利用した、基板表面のクリーニング・還元・酸化等の処理を可能としたプラズマ表面処理装置です。
処理モードや処理ガスを変える事により、幅広い用途に対応しています。
基板サイズに合わせ 450×450mm 大型基板対応装置と、250×250mm の小型基板対応装置の２機種を用意しています。
プラズマクリーニング装置POEM 【特長】
コンパクトな筐体で 8インチ以上の大面積処理が可能です。
実装前の親水処理や有機物・酸化膜除去に威力を発揮します。
樹脂基板の表面処理にも最適です。
処理モードの選択
処理効率の良いハードモードと、基板へのダメージを配慮したソフトモードを選択できます。
表面処理のメカニズム
