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製品情報

磁界励起型イオンプレーティング装置

新開発プラズマ源の採用により従来型に比べ、さらに平滑な膜表面を実現しています。
従来不可能な膜種(c-BN)も作製可能です。

磁界励起型イオンプレーティング装置 磁界励起型イオンプレーティング装置

内部機構

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プラズマ源の違いによる表面粗度の比較(AFM観察)

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・アプリケーション 精密加工用工具への表面コーティング(耐久性向上)
・精密金型への表面コーティング(離型性および表面耐久性の向上)
・その他、フリクション低減が求められる機械摺動部分への表面コーティング処理

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