研究開発用蒸着装置 製品概要 仕様 基礎研究実験に対応したローコストの小型蒸着装置です。目的に合わせ蒸発機構・基板加熱・冷却機構等各種機構が選択できます。 AMF-645SB型 仕様 関連製品 インラインスパッタリング装置 横型蒸着装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置 巻取式スパッタリング装置 大型樹脂基板用蒸着装置 一覧を見る