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製品情報

インライン型蒸着装置

太陽電池やディスプレイなど大型基板の連続処理を目的としています。
蒸発粒子のイオン化機構も装備可能で ITO に代表される透明導電膜の成膜に最適です。

CE-750B型 CE-750B型

基本構成図

仕様

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