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製品情報

リフトオフプロセス対応蒸着装置

用途が拡大しているリフトオフプロセスに対応した専用蒸着装置です。
高い蒸発粒子の垂直性と基板水冷機構の採用によりレジストの保護と微細パターンの維持を実現しています。

サンプルデモ受付中

AAMF-C1650SBR型 AAMF-C1650SBR型

仕様

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