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製品情報

ロードロックスパッタリング装置

本機は、省スペースを実現したロードロック式スパッタリング装置です。
カセット室に最大Φ270のトレーが、標準で12枚セット可能で、連続スパッタリングが行えます。

STL5311型 STL5321型

【特徴】
本機は、Φ100mmカソードを3元設けているため、多層膜が形成できます。
Φ250mm内±10%以下の膜厚分布を実現しております。
搬送室および成膜室は常時真空保持されますので、スループットの短縮が可能な、省スペース型ロードロック式スパッタリング装置です。
タッチパネルの採用により、リアルタイムでプロセス確認が行えます。

装置仕様

02-2

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