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新着情報

新製品販売開始のお知らせ(UV LED用AlNテンプレート作製装置)

お知らせ

新製品 UV LED用AlNテンプレート作製装置
(高配向AlN膜用スパッタリング装置)


世界的に需要が急増しているUV(紫外線)LEDの製造プロセスに必須の
AlN膜テンプレート(サファイア上のAlNエピタキシャル薄膜)を
スパッタリングで作製できる新型スパッタリング装置の販売を開始いたします。

新型スパッタリング装置は従来型の装置のカソードやチャンバ構造を見直し、
高配向性の窒化膜の形成用に最適化されています。
紫外線LEDのテンプレート用のAlN膜作成工程は従来気相成長法で
有機金属ガスを使用して作製されていましたが、今回の新型スパッタリング
装置により低コストで安全性と生産性の高い工程が実現できます。
装置は大学・研究機関用のR&Dタイプと本格量産用の2タイプをリリースいたします。

神港精機では同装置と従来製品(電極用蒸着装置や熱処理装置・半田付装置)によって
UV(紫外線)LEDの結晶工程からパッケージングまで幅広くサポートしていきます。

 

お問合せ先

 東京支店 03-3271-2156

 神戸支店 078-332-3400

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