製品一覧 真空ポンプ・コンポーネント ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、水封式真空ポンプ など 薄膜形成装置 スパッタリング装置、真空蒸着装置、プラズマCVD装置 硬質膜形成装置 PIG式DLC膜形成装置、イオンプレーティング装置=ADIP プラズマ処理装置 表面処理装置、エッチング・アッシング装置 半田付・接合装置 バッチ式、連続式、プラズマリフロー、雰囲気コンベア炉 真空熱処理装置 真空焼結炉、真空アニール装置、真空ベーキング装置、真空乾燥装置 光学検査装置 ベアリング測定用投影機、ポーラリメータ(歪測定器)