会社沿革
創業-1969
| 資本金・事業関連 | 技術・製品関連 | |
|---|---|---|
| (株)川西機械製作所の苅藻工場を借り受けて発足 資本金20万円  |
1949 | 梳毛機・電気機器・発声映写機の製造
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| 1950 | 赤外線乾燥炉・各種コンベア・塗装装置製造開始 | |
| 1951 | 真空ポンプ機器及び真空装置製造開始
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| 資本金を80万円に増資 | 1953 |  |
| 資本金を320万円に増資 | 1954 | |
| 1956 | 各種精密投影機の製造開始 |
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| 1957 | 通産省の工業化補助金を受け、大型真空ポンプSMB-20,000型（排気速度22,000m3/h)メカニカルブースタ国産化に成功 |
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| 資本金960万円に増資 | 1958 | 半導体関係機器の製造開始、真空脱ガス造塊装置を納入、 Ge用還元炉、精製炉、単結晶炉、合金炉を完成 |
| 東京出張所／銀座に新設 | 1959 | |
| 資本金2,000万円に増資 | 1960 | 羊毛用梳毛機（コーマ）生産台数1000台突破 Si用単結晶炉を完成 |
| 資本金5,000万円に増資 | 1962 | 高排気速度を有する高真空蒸着装置の商品化成功 |
| 東京出張所／東京支店昇格（中央区日本橋へ移転） 資本金を1億円に増資 |
1963 | 大型精密投影機SG30型完成 |
| 1965 | 電子ビームを用いた超高真空多層膜蒸着装置、イオン衝撃装置、自動半田浴装置を開発、商品化 | |
| 東京工場／東京都大田区に新設 | 1966 | 多段拡散炉発売 |
| 1967 | コーマ生産台数2000台を突破、IC焼成炉を完成、真空焼結炉を完成 |
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滋賀守山工場／滋賀県守山市に新設 |
1968 | |
| 1969 | 新塗装方式、粉体塗装設備を完成 |
1970-1990
| 資本金・事業関連 | 技術・製品関連 | |
|---|---|---|
| 滋賀守山工場／2期工事完了 | 1970 | 電子自動紋紙穿孔装置ACP-900-3S型を林紋工匠との共同開発により製品化 |
| 資本金を2億円に増資 | 1971 | 国産投影機として最大のスクリーンを有するHG-40型大型精密投影機を完成 多目的小型コンベア炉を完成 |
| 1972 | ボウリング用プロジェクター生産台数10,000台突破 |
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| 1973 | 水晶振動子用蒸着装置の規格化完了 | |
| 営業部／神戸市中央区御幸通（御幸ビル）に移転 | 1975 | 水晶振動子用真空圧入機を完成 SRP-15000B型油回転真空ポンプを発売 厚膜ＩＣプリント板実装用ハンダリフロー炉の標準化完了 |
| 東京工場／横浜市鶴見区へ移転 | 1976 | 量産用イオンプレーティングを完成、超硬皮膜、耐食性皮膜形成技術を確立 |
| 1978 | 連続液晶注入装置を完成、省力化に寄与 高速スパッタリング装置（高周波形）を完成 |
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| 1979 | 導電膜用連続式電子ビーム蒸着装置を完成 | |
| 1982 | 減圧プラズマCVD装置完成 近赤外線焼成炉の完成 SGD-600、1000型直結型油回転ポンプおよびSMB-300型メカニカルブースタポンプを完成 |
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| 1983 | 赤外線加熱方式減圧CVD装置を完成 | |
| 本社・神戸工場／西神工業団地へ移転 | 1984 | |
| 神戸工場／2期工事完了 | 1985 | |
| 神戸営業所／神戸市中央区西町 （三井日生神戸ビル）へ移転 |
1986 | SGD-1300型直結型油回転ポンプを完成 |
| 1987 | Cuペースト用両面焼成炉規格化完了 ACV-660型プラズマCVD装置を完成 |
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| 1989 | c-BN膜用薄膜形成装置を完成 SR-75BII低騒音型油回転真空ポンプを完成 多目的イオンプレーティング装置が協和技術振興センターの 第1回中小企業優秀新技術・新製品賞を受賞 ECRプラズマCVD装置を開発 SGD-400・SGD-900型直結型油回転ポンプを完成 |
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| 1990 | パルスプラズマCVD装置完成 |
1991-
| 資本金・事業関連 | 技術・製品関連 | |
|---|---|---|
| 資本金を3億円に増資 | 1991 | マルチスパッタ装置（PRODUCE）開発 H2Oガス供給ユニット発売 VS302型正立像精密投影機完成 |
| 1992 | 2ステップアッシング装置発売 |
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| 1993 | VT302型正立像精密投影機完成 SR-25BII、37BII型低騒音形油回転真空ポンプ完成 |
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| 1994 | DLC用プラズマCVD装置完成 | |
| 1995 | マルチ雰囲気ハンダ付装置開発 | |
| 1996 | PDP用封着排気装置完成 量産用新型アッシング装置開発 |
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| 滋賀守山工場ISO9001認証取得 |
1999 | 真空H2半田付け装置発売 EXAM型プラズマクリーニング装置発売 ベアリング検査用投影機ST発売 |
| 本社・神戸工場・神戸営業所・東京支店 ISO9001認証取得 |
2000 | H2プラズマリフロー装置発売 大口径対応SWPアッシング装置発売 PDP用連続封着排気装置納入 |
| 東京支店／日本橋室町（楠和日本橋ビル）へ移転 | 2001 | EXAM型プラズマエッチング装置完成 大型外熱式プラズマCVD装置（リアクタ内径550×高さ2200）完成 SMB-C06･C15･C25コンパクト型メカニカルブースタ、シリーズ化完成 |
| 本社・神戸工場・神戸営業所・東京支店 ISO9001：2000認証取得 |
2002 | プラズマ重合装置発売 量産型工具用c－BN膜形成装置完成 インライン式プラズマ重合装置の開発 |
| 滋賀守山工場ISO9001：2000認証取得 |
2003 | ＦＥＤ用封着排気装置開発 量産用ＤＬＣ装置納入 高真空エッチング装置完成 ＭＥＭＳ対応Ｄｅｅｐ ＩＣＰ装置開発 ハステロイ製耐食型水封式真空ポンプ納入 画像機能付ポーラリメーターＳＦ－ⅡＣ納入 |
| 事業部制発足(装置事業部.規格品事業部) 神戸営業所／神戸支店昇格 |
2004 | 連続タイプ真空・H2半田付装置を完成 成膜装置用データロギングシステム完成 真空半田付装置 納入７０台達成 深焦点投影機開発機完成 ドライポンプＳＳＨシリーズ完成 |
| 本社・神戸工場ISO14001：1996認証取得 | 2005 | |
| 本社・神戸工場ISO14001：2004認証取得 滋賀守山工場ISO14001：2004認証取得 |
2006 | |
| 2007 | ドライ真空ポンプが「日本機械学会関西支部技術賞」を受賞 第１回「ひょうごものづくり技術大賞」において 「フラックスレス及びボイドレス接合を実現した鉛フリーはんだ対応 真空半田付装置」が製品・技術開発分野の兵庫工業会会長賞を受賞 第２回「ものづくり日本大賞」においても製品・技術開発分野で｢優秀賞｣を受賞  |
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| 2008 | ウィルス検査装置を開発 ポーラリメータＳＦ－ⅡＬを発売 |
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| 2009 | ダイヤモンドライクカーボン膜コーティング装置（ＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成装置）がりそな中小企業振興財団・日刊工業新聞社共催の第21回 「中小企業優秀新技術・新製品賞」の優秀賞を受賞 ＩＣＰエッチング装置（ＳＥＲＩＯ）を完成 |
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| 2010 | 太陽電池用透明導電膜量産装置納入 | |
| 東京工場を横浜市港北区へ移転 名称を東京サービスセンターへと変更 |
2011 | 大型ドライ真空ポンプSST450を完成 ポーラリメータ用画像処理ユニットを完成 |
| 日立造船株式会社と資本・業務提携契約締結 資本金を3億7,500万円に増資 |
2012 | |
| 2013 | SSX300型ドライポンプを発売 | |
| 2014 | 超高真空マルチスパッタリング装置を発売 マルチICPエッチング装置を発売 |
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| 滋賀守山工場ISO9001：2015認証取得 | 2017 | 油回転真空ポンプＳＧＨシリーズを発売 |
| 滋賀守山工場ISO14001：2015認証取得 本社神戸工場ISO9001：2015認証取得 本社神戸工場ISO14001：2015認証取得 |
2018 | |
| 東京サービスセンターを神奈川県綾瀬市へ移転 名称を関東サービスセンター へと変更 代表取締役 眞下忠が春の叙勲において旭日単光章を受章 |
2019 | |
| 資本金を1億円に減資 | 2024 |
