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新製品販売開始のお知らせ(フィルムベーキング装置 巻取式プラズマ処理装置)

お知らせ

新製品販売開始のお知らせ
(フィルムベーキング装置 巻取式プラズマ処理装置)

 
新製品2機種(フィルムベーキング装置 巻取式プラズマ処理装置)を発表いたします。
上記2機種の装置は樹脂フィルムや金属箔の巻取り連続処理(RtoR)型の装置で成膜前
のフィルムの乾燥・密着性向上のためのプラズマ処理に用いられており従来機種の巻取式
スパッタリング装置の前後の工程をカバーする装置となります。
フィルムベーキング装置はフレキシブル1mまでの幅のフレキシブル基板の連続処理が可
能で、基板の脱ガス・乾燥と共にフィルム自体や薄膜のアニール・焼成が可能です。
巻取り式プラズマ処理装置はフィルムの表面処理・親水化に大きな効果が得られます。プラ
ズマモードもグロー放電・高周波放電が選択でき基板や目的に合わせて基も効果的な処理
が選択できます。システムは従来機のスパッタリング装置と機構を同一化しています。成
膜・プラズマ処理の連続処理が容易な構造です。スパッタリング・プラズマ処理の複合処理
装置へのカスタマイズも容易です。
両装置とも太陽電池やフレキシブルプリント板の量産ラインで稼動実績を持っており、充
分な安定性とプロセス能力を持っています。
今後巻取式スパッタリング装置と合わせ、フレキシブル・プリンタブルデバイスの開発・試
作・量産の全ての工程をカバーしていきます。
巻取式プラズマ処理装置は量産対応のデモ機装置を常設しており、サンプル成膜・デモに積
極的に対応しています。
詳しくは製品欄をご参照下さい。


巻取式プラズマ処理装置
フィルムベーキング装置

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