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製品情報

プラズマエッチング装置EXAM

EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。
ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチングやアッシングなど同一チャンバ内でのマルチ処理が可能です。

サンプルデモ受付中

プラズマエッチング装置EXAM プラズマエッチング装置EXAM

【特長】
・250mm□の処理ステージを持つバッチ式プラズマエッチング装置です。
・シリコン、酸化膜、窒化膜だけでなく石英のエッチングにも対応しています。

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