VACUUM2026真空展に出展いたします。

【当社展示品】
● ドライポンプの実機展示
● 各種真空ポンプのパネル展示
● 真空装置のパネル展示
【開催日・場所】
● 期間:2026年11月18日(水)~20日(金)10:00~17:00
● 場所:東京ビッグサイト東2ホール 小間番号 V-21
● https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/
工業炉のスタンダード、油回転真空ポンプやメカニカルブータをはじめ、非常に堅牢で化学・製薬・食品など、
過酷なご用途で大活躍している水封式真空ポンプなど各種真空ポンプをご案内します。
当社のドライ真空ポンプの独自技術をご評価いただき、2025年日本国際博覧会(大阪・関西万博)において、
公益財団法人地球環境産業技術研究機構(RITE)様が研究している直接空気回収技術(DAC)実証装置に
「TOUGH」で「CLEAN」で「ECO」なドライポンプが採用されました。
当社の真空ポンプは高い耐久性と信頼性でご愛顧いただき、幅広い産業に貢献し続けます。
真空装置では、フォトニクスデバイス製造用真空装置と次世代半導体パッケージ用大型基板用装置をご提案致します。
フォトニクスデバイス製造用真空装置
・電極・配線・反射防止膜形成用スパッタ装置/蒸着装置
・ゲート電極・光導波路形成用プラズマ装置各種
・オーミック化アニール炉
フォトニクスデバイス市場は中長期的な成長が期待されており、日本国内においても研究開発と生産体制の
強化が進められています。
当社は、お客様やパートナー企業との協業を通じて、新たな価値創出とイノベーションの実現に取り組んでいます。
また、次世代半導体パッケージ分野で注目を集める大型基板(□600mm)に対応した装置ラインアップの
ご提案・提供にも注力しており、多様化するお客様のニーズに応えるソリューションをご提供いたします。
ぜひ、神港精機ブースにもお立ち寄り頂きたく、社員一同皆様のご来場をこころよりお待ちしています。


