セミコンジャパン2019出展のご案内(12/11~12/13)
イベント
「SEMICON Japan 2019」出展のお知らせ
12月11日~13日 東京ビッグサイトにて開催されるセミコンジャパン2019に出展いたします。
出展ブース 5577(西3~4ホール) 日立造船様ブースにて協同出展
出展内容:
・光電変換膜用複合成膜装置(マルチチャンバ成膜装置) パネル展示
・高密度スパッタリング装置(新型アーク放電機構採用) パネル展示
・高密度スパッタリング装置 成膜サンプル(SiN膜 8インチウェハに成膜)