油拡散ポンプ
【共通仕様】
・作動油はネオバックSX（SHｰ704）或いはライオンAです
・作動油がDC-705の場合、到達圧力4×10-6Pa,電力は20パーセント～
45パーセントアップとなります
・油蒸気の逆流量は、7×10-7～2×10-8g/min・cm2以下です
【特長】
・排気速度が大きい
・油蒸気の逆流が少ない
・ヒーターの寿命が長い（アルミ鋳込みヒーターを採用）
・高い許容背圧が得られる（サイドエゼクター型）
標準型 油拡散ポンプの仕様及び寸法表
サイドエゼクタ形 油拡散ポンプの仕様及び寸法表
