真空ベーキング装置 製品概要 電子デバイスだけでなく各種部品の脱ガス・熱処理に対応した各タイプを用意しています。Siウェハ・ガラス・パッケージ部品等多くの用途に対応しています。 縦型ポリイミドベーク装置 バックライト加熱排気装置 関連製品 巻取式フィルムアニール装置 高真空熱処理炉 真空アニール装置 真空乾燥装置 一覧を見る