高真空熱処理炉
高真空中で１５００℃以上の高温処理が可能な新素材・冶金用途対応の熱処理装置です。
自社製のポンプで構成された実績豊富な排気系の元、均熱精度の高い高温加熱が可能です。
用途は高融点金属部品の熱処理、カーボン粉体の熱処理、セラミックス・新素材の焼成・
アニールなどで、求められる温度・雰囲気・炉内清浄度にあわせ、炉構造、ヒーター、
ガス導入機構が選択できます。
主仕様（標準仕様）
・処理物 金属 セラミックス 粉末 各種素材
・処理温度 ５００～１５００℃ 最高１８００℃
・処理寸法 ３００ｍｍ□／バッチ
・処理雰囲気 真空（高真空）
・排気系 油回転ポンプ＋メカニカルブースタ＋油拡散ポンプ
選択機構
・ヒーター メタルヒーター カーボンヒーター
・冷却機構 ガス冷却
・排気系 ドライポンプ ターボ分子ポンプ
・ガス導入機 Ｎ２ Ａｒ等 オプションにてＨ２
