EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。
ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチングやアッシングなど同一チャンバ内でのマルチ処理が可能です。

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