研究開発用蒸着装置 製品概要 仕様 基礎研究実験に対応したローコストの小型蒸着装置です。目的に合わせ蒸発機構・基板加熱・冷却機構等各種機構が選択できます。 AMF-645SB型 仕様 関連製品 標準型蒸着装置 プラズマCVD装置 ロードロックスパッタリング装置 マルチチャンバスパッタリング装置 ロードロック型蒸着装置 一覧を見る