研究開発用スパッタリング装置 製品概要 ロードロックタイプ装置仕様バッチタイプ装置仕様 実験や基礎研究に最適なコンパクトなハード構成です。 ローコストで信頼性の高いハードを提供いたします。 SRV4320型 SRV ロードロックタイプ装置仕様 バッチタイプ装置仕様 関連製品 超高真空スパッタリング装置 プラズマCVD装置 インラインスパッタリング装置 ロードロック型蒸着装置 マルチチャンバスパッタリング装置 一覧を見る