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製品情報

研究開発用スパッタリング装置

実験や基礎研究に最適なコンパクトなハード構成です。
ローコストで信頼性の高いハードを提供いたします。

  • SRV4320型
  • SRV

 

 

ロードロックタイプ装置仕様

07-3

 

バッチタイプ装置仕様

07-4

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