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製品情報

ドライ真空ポンプ(スクリュー式)SSHシリーズ

高性能DCBLモータを搭載した省エネポンプです。

【特長】
●高効率DCブラシレスモータの採用
DCブラシレスモータを回転数制御することによって始動電流を低減し、通常運転時にも「POWER MODE」と「ECONOMY MODE」選択できる仕様となっています。(運転中も切り替え可能)。また、50/60Hzの地域による能力差を解消し、ヘルツフリーを実現しました。
●Economy&Ecology
Economy 年間 約¥64,000の節電効果※
Ecology 年間 約1,400kgのCO2排出量を削減※
※誘導モータ対比 年間 約9,000h運転した場合
●コントローラー内蔵
様々な保護機能を有するポンプコントローラーを装備し、外部制御も可能としています。

【用途】
・半導体製造、電子部品製造(蒸着、スパッタリング、エッチング、後工程装置など)
・一般産業(吸着搬送、ガス置換、封止排気、滅菌など)
・研究開発(エバポレータ、環境試験機など)

SSHシリーズ仕様

ssh-shiyo

SSHシリーズ性能曲線

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