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製品情報

アーク放電型高真空イオンプレーティング装置

独自開発法により高真空中で蒸発粒子のイオン化が可能です。
平滑で緻密な膜質により長年に渡り多くの実績を誇っています。

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  • アーク放電式マグネトロンスパッタ装置アーク放電式マグネトロンスパッタ装置

イオン化方式図

03-3

蒸発粒子のイオン化状態

03-4

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