製品情報

アーク放電型高真空イオンプレーティング装置

独自開発法により高真空中で蒸発粒子のイオン化が可能です。
平滑で緻密な膜質により長年に渡り多くの実績を誇っています。

  • アーク放電型高真空イオンプレーティング装置
  • アーク放電式マグネトロンスパッタ装置

イオン化方式図

03-3

蒸発粒子のイオン化状態

03-4

  • HOME >
  • 製品情報 >
  • アーク放電型高真空イオンプレーティング装置
ページトップへ