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製品情報

PIG式DLC膜形成装置

独自開発のPIGプラズマ源を使用し、ハイーレートで平滑なDLC膜を形成できます。
自動車部品の表面処理に多く採用されており、今後とも用途拡大が期待されています。

第21回中小企業優新技術賞・新製品賞受賞

サンプルデモ受付中


PIG式DLC膜形成装置 PIG式DLC膜形成装置

装置外観

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装置構成

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他方式との比較

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