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製品情報

バッチスパッタリング装置

各種電子デバイスや高機能材料のR&Dから量産に最適なバッチタイプのスパッタリング装置のラインアップです。
小径カソードにより大面積への均一な成膜を特徴とし、豊富な実績に支えられた高い信頼性と充実のソフトでの様々な目的やプロセスに最適なハードを提供します。

  • STH10311STH10311
  • 少量生産用小型バッチタイプSRV4310型

【特徴】
基板一枚の研究開発から本格量産までプロセスにあわせ最適なハード・ソフト・プロセスが選択可能 実績のラインナップを揃えています。

装置仕様

02-3

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