ロードロック型蒸着装置 製品概要 仕様 電子デバイス用特殊仕様。特別なプロセスやデバイスに特化し基板形状や処理温度を問わず柔軟に対応しています。 ロードロック型蒸着装置 AAMF-C1260SB-M型 仕様 関連製品 プラズマCVD装置 研究開発用蒸着装置 バッチスパッタリング装置 標準型蒸着装置 ロードロックスパッタリング装置 一覧を見る