大気圧プラズマ装置 SSC-APシリーズ
大気圧プラズマでは”リモート方式“と”ダイレクトプラズマ“方式に二分され、
大多数がリモート方式を採用していますが、リモート方式はリアクターと基板までの距離が
あるため、電解がかなり弱く、処理効果が弱くなります。
【特徴】
神港精機は韓国APP社と提携し、同社独自開発のダイレクトプラズマ式ヘッド”ArP®“を採用する事により、
対象基板に高エネルギー状態のプラズマを照射し、大気圧下でもCCP処理時に近い
プラズマ表面処理が可能です。
【真空プラズマ】
・分布性能が良い
・清浄性が高い
・エッチングガスを変更することにより様々な目的やアプリケーションに対応可能
・導入コスト、ランニングコストが高く、スループットを稼ぐ場合は装置が大型となる。
【大気圧プラズマ】
・ハイスループット
・導入コスト、ランニングコストが安い。
・大型基板や長尺基板への対応等、 設計自由度が高い。
・除害や希釈が必要なガスは使用できない。
・従来の大気圧プラズマでは表面処理効果が弱い⇒ArP®にて大幅改善！
デモンストレーション機 Ar-P100C
●ベルト搬送式（ベルト幅100mm）
ベルトスピード可変可能
●放電幅 100mm
●放電間隔 MAX7mm
●Ar/O2処理可能
●RFパワー 常用MAX160w~180w
●ガス流量1L/min～4L/min
●放電間隔変更可能（推奨3~4mm以下）
