プラズマCVD装置 製品概要 仕様 600mm 基板に対応した大型プラズマCVD装置です。 緻密なシリコン酸化膜の形成が可能で薄膜キャパシタの作製に適しています。 ロードロック式プラズマCVD装置 仕様 関連製品 ロードロック型蒸着装置 大型樹脂基板用蒸着装置 研究開発用蒸着装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置 プラズマ重合装置 一覧を見る