プラズマCVD装置 製品概要 仕様 600mm 基板に対応した大型プラズマCVD装置です。 緻密なシリコン酸化膜の形成が可能で薄膜キャパシタの作製に適しています。 ロードロック式プラズマCVD装置 仕様 関連製品 標準型蒸着装置 大型樹脂基板用蒸着装置 研究開発用蒸着装置 巻取式スパッタリング装置 超高真空スパッタリング装置 一覧を見る