ロードロック型蒸着装置 製品概要 仕様 電子デバイス用特殊仕様。特別なプロセスやデバイスに特化し基板形状や処理温度を問わず柔軟に対応しています。 ロードロック型蒸着装置 AAMF-C1260SB-M型 仕様 関連製品 研究開発用蒸着装置 大型樹脂基板用蒸着装置 巻取式スパッタリング装置 インラインスパッタリング装置 プラズマ重合装置 一覧を見る