神港精機株式会社

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ロードロック型蒸着装置

電子デバイス用特殊仕様。特別なプロセスやデバイスに特化し基板形状や処理温度を問わず柔軟に対応しています。

  • ロードロック型蒸着装置
  • AAMF-C1260SB-M型

仕様

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