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製品情報

インラインスパッタリング装置

ガラス基板を対象とした通過成膜型インラインタイプのスパッタリング装置です。

矩形カソードを多元で装備しておりプロセスや生産数に合わせて、成膜室、加熱室、冷却室等の組み合わせを任意に選択できます。
大型基板に均一な膜厚分布性能を持ち、安定した量産プロセスを実現します。

インラインスパッタリング装置 インラインスパッタリング装置

【特徴】
目的にあわせ実績機種より個別要求に柔軟に対応いたします。
高効率矩形カソードを装備しており、長期間安定した性能を実現します。

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